Šī ir sava veida destilācija augsta vakuuma vidē, lai atšķirtu materiāla molekulārās kustības brīvo ceļu, tika veikta siltumjutīgā materiālā vai materiāla destilācijas un attīrīšanas procesā ar augstu viršanas temperatūru. Īsā ceļa destilāciju galvenokārt izmanto ķīmiskajā, farmācijā, naftas ķīmijas, garšvielu, plastmasas, naftas un citi lauki.